Во многих применениях сверхчистого газа, таких как полупроводниковая промышленность, остаточная влажность газа имеет решающее значение для нормального функционирования процесса. Постоянное отслеживание влажности всегда было сложной задачей, требующей сложных анализаторов влажности или дорогостоящих методов анализа. Тем не менее, Migel Instruments в настоящее время представляет на рынок простую, экономичную и довольно эффективную схему измерения точки росы в режиме онлайн с нижним пределом до ошеломляющих - 120 °C (что эквивалентно менее 1 ppb).ВВ)). Трансформатор Pura - это первый недорогой трансформатор, разработанный на основе многолетнего профессионального опыта Migel Instruments в производстве и проверке датчиков сопротивления росы, в сочетании со стандартными промышленными материалами и производственными процессами, предназначенными для использования в полупроводниковой промышленности и сверхчистых газах. Яркие пятна Измерение нижнего предела - 120°C точка росы (1 ppb)В) Измерения стабильны, повторяемость хорошая высокоинтегрированный пробоотборник Моделирование и цифровой вывод Простота установки Интерфейс процесса VCR Дизайн компактный. Показывать / напоминать необязательно
Технические показатели
датчик Тип датчика датчик влажности керамики Мигеля Измерения Точка росы - 120 ~ - 40°C (с проверкой до 100 ~ 40°C) Точность ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ± 4°C - 101 ~ - 120°C (оценка) разрешение 0,1°C -40 ~ -79,9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C давление Минимум 10 - 9 torr; Максимально 24 МПа Поток газа 1 ~ 5 Нл/мин электрический питание Обычно 24 V DC, минимум 10 V ~ максимум 28 V, максимальный ток 25 mA вывод Выход 4 - 20 мА, соответствующий диапазон может быть отрегулирован специальным программным обеспечением, регулируемый диапазон от 1 до 80 °C (предоставляется стандартом) Максимальная нагрузка = 100 Ом + 50 Ом x (V Power - 8) Ошибка вывода Информация об ошибке на стандартном выходе выглядит следующим образом: 23 мА = неисправность датчика; 20 мА = верхний предел; 4 мА = Верхний предел Механические свойства Втулка датчика Нержавеющая сталь, 0,1 - 0,2 Ra мкм гальваническая внутренняя полировка Порт подключения Тип Premium или OEM: Type - интерфейс VCR Модель Pura Sensor: интерфейс ½ 'm VCR Настройка установки Тип Premium или OEM: длина 120,00 мм, торцевое уплотнение порта газопровода. Не нужно резервировать пробелы в трубопроводе. На базе имеется 2 отверстия для установки M4 x 0,7, глубина 7 мм с поперечным и вертикальным интервалом 20 x 20 мм Тип Pura Sensor: подходит для портов ½ 'VCR, предоставляемых пользователями размер Тип Premium или OEM: 120 x 35 x 150 мм Pura датчик 型: 132 х 35 мм вес Тип Premium или OEM: 450 г Pura датчик 型: 180г упаковка Pura: двухслойная упаковка, герметизация с заполнением инертным газом Pura OEM или Pura Sensor: однослойная упаковка Все запасные части: перевозка в независимой упаковке Sensor имеет защитный чехол на конце сенсорного чипа для транспортировки и эксплуатации