Система OTL - PECVD - 1200 PECVD состоит из вакуумной трубчатой печи OTL1200, кварцевой вакуумной камеры, радиочастотного источника питания, системы подачи газа GX, вытяжной системы, системы измерения вакуума.

Основные особенности:

Газ в кварцевом вакууме преобразуется в ионное состояние с помощью радиочастотного источника питания.

Температура, необходимая для химического осаждения в газовой фазе PECVD, ниже, чем для обычного CVD.

Размер напряжения осажденной пленки может контролироваться частотой радиочастотного питания.

Скорость химического осаждения в газовой фазе PECVD выше, чем у обычного CVD, хорошая однородность, высокая согласованность и стабильность.

5 Широко используется для: роста различных тонких пленок, таких как: SiOx, SiNx, SiOxNy и неструктурированный кремний (a - Si: H) и так далее.

Система OTL - PECVD - 1200 PECVD с проволокой сопротивления Kanthal в Швеции в качестве нагревательного элемента, с двухслойной конструкцией корпуса и 30 - ступенчатым программным термостатом, фазовый запуск, управляемый кремниевый контроль, печь использует поликристаллический волокнистый материал из оксида алюминия, оба конца трубы печи могут быть герметизированы фланцем из нержавеющей стали, на фланце из нержавеющей стали установлены газовые сопла, клапаны и манометры, вакуум при вакууме может достигать 10 - 3 Па, имеет преимущества равновесия температурного поля, низкой температуры поверхности, быстрой скорости подъема и падения температуры

(3), баланс сопротивления, баланс температурного поля хороший

(4) Элементы нагрева: Шведская импортная проволока сопротивления Kanthal A1 (проволока сопротивления может быть гарантирована на 2 года)

При перенапряжении или утечке электрической цепи пустые сеансы автоматически отключаются

Печь оснащена коммуникационным интерфейсом и программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры печи непосредственно с помощью компьютера и наблюдать с компьютера за температурными значениями PV и SV и работой приборов на печи. Компьютер с фактической кривой повышения температуры печи рисует в режиме реального времени и может хранить данные о температуре в каждый момент времени и в любое время настраивать вакуум.

(2) Формирование с использованием японской технологии.

(3) Расстояние и шаг резистивной проволоки в печи полностью смоделированы в соответствии с оптимальной термодинамической технологией Японии и смоделированы тепловым полем с помощью термодинамического программного обеспечения

(4) Использование 4 - недельного нагрева, более сбалансированное температурное поле

(Все импортные электроприборы, сертифицированные UL)