Новый Pura Plus был специально разработан для учета последних изменений в требованиях к размерам и индикаторам оборудования в промышленности кристаллов. Pura Plus - это онлайн - инвертор микровлажности, многоканальный, установленный в конце подачи газа на производственную линию на заводе по производству полупроводников для мониторинга применения сверхчистых инертных газов. Распределение газовых систем на заводе является сложным и включает в себя множество ветвей, узлов и точек использования. Таким образом, после обычной точки мониторинга влажности это может привести к проникновению влаги из - за микроутечки, неэффективной конструкции системы, отказа элемента или ошибки процесса и других причин, влияющих на использование вниз по течению. А Pura Plus, установленный в распределительной системе, обеспечивает быстрое реагирование при уровне влажности 20 ppb. Время отклика 1 ppb составляет менее 1 минуты. Яркие пятна Быстрое реагирование на изменение влажности на уровне ppb Чувствительность низкого уровня ppb (< 1 ppb) Новая концепция многоточечной измерительной установки. Низкие требования к техническому обслуживанию сигнальный индикатор состояния Можно установить точки предупреждения и сигнализации Сетевая совместимость Modbus Многоканальное программное обеспечение интерфейса дистанционного управления (UHP) Обнаружение трубопроводов сверхчистого газа
Технические показатели
Скорость отклика < 1 минута 20 ppb Влажность 1 ppb Время отклика Измерение влажности 1 ppb до 20 000 ppm Диапазон давления от 0 до 10 бар Класс давления 300 бар Тест на утечку 0-9 мбар л/с Диапазон рабочих потоков 1 ~ 10 л/мин Рабочая температура 5 ~ 40°С Температура памяти 30 ~ 70 ° С питание 20 ~ 28 В постоянного тока Потребление энергии 5 Вт Максимум Класс внешнего предохранителя Быстроплавкий 500 мА Вывод данных Модуль ASCII RS485 Вывод предупреждений и напоминаний 2 Путь Максимальное напряжение 40 В постоянного тока Максимальный ток 100 мА Материалы, контактирующие с газом Материал оболочки Нержавеющая сталь AISI 316L, электрическая полировка внутренней поверхности < 10 Ra Структура датчика Электролит оксида алюминия, защита верхнего покрытия, нижний слой алюминия Внутренний объем 4,4 см³ вес 450 г Интерфейс газовой цепи 1/4'м видеокамера Электрический интерфейс Интерфейс 9 - Игла D - Тип M Электромагнитная совместимость EN 50081 - 2 и EN 50082 - 2