VIP Члены
газоулавливающая установка на кремниевых кристаллах
газоулавливающая установка на кремниевых кристаллах
Подробная информация о продукции
Презентация продукции
• Для улавливания летучих компонентов (органических загрязнителей) на 8 - и 6 - дюймовых кремниевых поверхностях. (SW-8400)
• Для улавливания летучих компонентов (органических загрязнителей) на поверхности 12 - дюймового кремниевого чипа. (SW-12400)
• Захват летучих газов с односторонними кремниевыми чипами, простая работа.
В нагревательной печи применяется метод обратной подвески, при котором улавливаются пробы только газов, образующихся на передней части чипа.
• Для улавливания летучих компонентов (органических загрязнителей) на поверхности 12 - дюймового кремниевого чипа. (SW-12400)
• Захват летучих газов с односторонними кремниевыми чипами, простая работа.
В нагревательной печи применяется метод обратной подвески, при котором улавливаются пробы только газов, образующихся на передней части чипа.
Печь нагревается до 500 °C.
· Закрытие нагревательной печи с использованием O - образного кольца (полиамидный материал) герметизировано без утечки.
· Как правило, для улавливания газа используется PAT (объем содержимого 10 мл, заполненный 2,5 г Tenax GR). Для отбора проб могут также использоваться соответствующие коллекторные трубки других производителей.
· Закрытие нагревательной печи с использованием O - образного кольца (полиамидный материал) герметизировано без утечки.
· Как правило, для улавливания газа используется PAT (объем содержимого 10 мл, заполненный 2,5 г Tenax GR). Для отбора проб могут также использоваться соответствующие коллекторные трубки других производителей.
• Оборудование системы циркуляции охлаждающей воды.
• Оборудована устройствами защиты от перегрева, блокирующими предохранительными устройствами, кнопками аварийной остановки, датчиками утечки (выбраны) и другими устройствами безопасности.
• Оборудована устройствами защиты от перегрева, блокирующими предохранительными устройствами, кнопками аварийной остановки, датчиками утечки (выбраны) и другими устройствами безопасности.
Технические параметры
|
Способ
|
Перевернутый режим
|
|
размер кристалла улавливания кремния
|
8 "или 6", 5 "Требуется добавить расширенное кольцо ниже (тип 12400, 12")
|
|
О - образное кольцо
|
диаметр затвора 220 мм (полиамид)
|
|
кварцевая печь
|
Прозрачный кварцевый материал
|
|
Режим нагрева печи
|
Крыша и подогрев панели самостоятельно.
|
|
Температура использования печи
|
Обычно 400 °C (до 500 °C)
|
|
охлаждение нагревательной печи
|
циркуляционная установка охлаждающей воды
|
|
Термоизоляционная трубка
|
Инерциализация внутренней поверхности
|
|
продувка
|
Обычно используется азот, максимальный расход 500 мл / мин
|
|
Устройство для защиты от перегрева
|
Электрический ток 15A, индукционный ток 30mA
|
|
кнопка аварийной остановки
|
Красный, грибовидный тип
|
|
Устройства безопасности
|
Блочная структура
|
|
Режим давления
|
Двигатель
|
|
Размер оборудования
|
1140 (W) × 1106 (H) × 750 (D) mm
|
|
Вес
|
280Kg
|
|
Электричество
|
Однофазный AC200V, 15A - AC100V, 20A
|
|
Стандартное приложение:
|
|
|
PAT (адсорбционная трубка первого уровня):
|
2 (не совместимы с другими компаниями)
|
|
Стойка PAT
|
1 (не совместим с другими корпоративными коллекторами)
|
|
Адаптер PAT
|
1 (в комплекте с другими коллекторными трубами)
|
|
О - образное кольцо
|
Два.
|
|
циркуляционная установка охлаждающей воды
|
1 шт. (со стандартными трубами)
|
|
Термоизоляционная трубка
|
Одна
|
|
Газораспределительная труба
|
1 комплект (1 / 16 "- 1 / 8")
|
|
Канат
|
1 комплект
|
|
Инструменты
|
1 комплект
|
|
инструкция по эксплуатации
|
Том 1
|
* Технические характеристики SW - 12400, пожалуйста.
Онлайн - запросы
-
Контактные лица
-
Компания
-
Телефон
-
Электронная почта
-
Микросхема
-
Код проверки
-
Содержание сообщения
-