Особенности американского источника ионов KRI Holl eH 1000:

БодонKRIисточник ионов ХоллаeH 1000ОсобенностиА.

1.Съемный анодный блок- Да.Легко поддерживается*Время обслуживания,Минимизировать время простоя*резервный анод

2.Широколучевой ток высокого разряда- Да.Высокая плотность тока*Равномерная скорость травления*Высокая эффективность травления*высокоионное вспомогательное покрытиеIADЭффективность

3.Многоцелевые- Да.Применяется кLoad lock /сверхвысокая вакуумная система*Удобно установить*Водяное охлаждение не требуется

4.Эффективное преобразование плазмы и стабильное управление мощностью