Основные
Источник ионов KRI Gridless
CTI Бордовый ИС 低温泵
вакуумный прямоугольный клапан HVA
Молекулярный насос турбины с полным магнитным всплытием
Ультракриогенный охладитель Thermonics
прибор
Молекулярный насос ATH 1600 MT
Холодильник Thermonics A - 80 - 1700, с воздушным охлаждением
Ионный травильный станок Hakuto
Ионный травильный станок Hakuto 20IBE - J
Прямоугольные вакуумные клапаны HVA серии 88200
CTI На борту® IS 320FX 低温泵
Американский источник ионов KRI Holl Gridless eH
Американский источник ионов KRI Holl eH 400
Американский источник ионов KRI Holl eH 1000
Вакуумметр с тепловым катодом PBR 260 IMR 265
Операция удалась!